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质谱真空泵的保养方法 2015-08-19 14:06:28             
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质谱真空必须由接受过适当培训的技术员来维护,确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉,做维护之前必须将泵停下,降到安全的温度,断开泵及其他元件与电路的连接,以避免发生意外。维护完毕,在没接上电源之前,重新检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可重复利用。

在运转过程中,质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以,应确认泵是否清洗干净,并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害,维护完毕后,应检查是否有泄露的地方,如有,应重新密封。不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物,它们是很危险的,包括油、油脂和真空脂。

质谱真空泵的保养方法

检查前置真空泵油位:

根据需要,可以在泵运转的时候检查油位,但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。

1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在最低限以上,最高限以下。

2.如果油位在最低限或低于最低限,打开加油孔,加油至最高限,如加得过满可从出口放掉点。

3.如果油污染严重时,放掉受污染的油,清洗泵后加入干净的油。

更换前置真空泵油:

1.开启泵运转10分钟以加热泵油,然后关泵(油加热后可降低其粘性,比较容易倒出来)。

2.断开泵和电路及真空系统的连接。

3.取下加油孔的塞子。

4.将泵放在一个适当的支撑物(如:凳子)上以方便泵的倾斜,在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子,让油在重力的作用下流到容器中。

5.油受到污染时:

5.1取下加油孔的塞子,倒进干净的油。

5.2重新连上泵和电路的连接,开泵运转5-10分钟。

5.3断开泵和电路的连接,取下排油口的塞子,让油流出来。

5.4重复上述步骤直到将泵清洗干净。

6.塞上排油口的塞子,移掉支撑物,重新接上泵和电路及真空系统的连接 。

7.装上新油,直到油位达到MAX位置附近。

8.等几分钟直到油抽到泵中,需要的话,可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。

检查和清洁前置真空泵入口过滤器

1.旋开入口转接器,取下‘O’ ring,弹性挡圈和入口过滤器。

2.用适当的溶液清洗入口过滤器,阴干入口过滤器。

3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。

清洁前置真空泵载气滤网:

1.取下固定垫圈。

2.取下金属丝网及滤头元件。

3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件,阴干后重新装在泵上。

4.重新固定好固定垫圈。

清洗马达风扇周围:

1.关掉真空泵,断开其与电源的连接。

2.利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物。

注意:

如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话,进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。

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